东南大学MEMS教育部重点实验室是以微电子学科为主题、结合电子工程系固体电子学研究室、工程力学系和机械工程系相关课题组，组建了跨学科的研究结构，于1999年申请建立教育部重点实验室。实验室2000年6月通过教育部可行性论证、2001年9月通过教育部验收、2002年11月通过教育部评估。下面看看一份来自该实验室的课件

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